高純大流量過濾器_高純電子氣特氣精密過濾器
半導體制造中,工藝氣體的高流量供應與超高純度保障同樣重要。深圳恒歌 BF 系列大流量過濾器,以創新設計實現二者的完美平衡。?
作為大流量過濾器的代表,其多柱狀或疊盤狀介質結構大幅提升流通效率,滿足高產能生產線的氣體需求。同時,0.003μm 的超高過濾精度,確保氣體中微量顆粒被高效攔截,為光刻、刻蝕等關鍵制程提供純凈氣源。全 316L 不銹鋼構造賦予產品優異的耐高溫、耐高壓與耐腐蝕性能,即使在高溫動態環境下也能穩定運行。每臺過濾器均經過 100% 完整性測試和氨氣檢漏測試,確保在潔凈室環境中可靠工作,有特殊需求可定制加工,適配不同場景的安裝與運行要求。?
產品特點:?
●?大流量設計,適配高產能生產?
●?0.003μm 超高過濾精度,保障氣體純度?
●?全 316L 不銹鋼材質,適應嚴苛環境?
●?耐高溫高壓,穩定性強?
●?100%出廠檢測,品質可靠?
●?支持定制加工,滿足特殊需求?