KF16篩網(wǎng)定心環(huán)用于ISO真空管道系統(tǒng)不銹鋼O型圈真空接頭
KF 系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其便捷的安裝特性與卓越的性能,成為真空系統(tǒng)的理想配套組件,尤其在優(yōu)化回填過程中表現(xiàn)突出 —— 能夠?qū)崿F(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填操作,進(jìn)而有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量與設(shè)備整體吞吐量,為生產(chǎn)效率的提升提供有力支持。
在遵循規(guī)范安裝要求與標(biāo)準(zhǔn)操作條件的前提下,該過濾器可確保產(chǎn)品完整性穩(wěn)定達(dá)到3.000.000 次循環(huán),具備優(yōu)異的耐用性與可靠性,能長(zhǎng)期保障真空系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。
其應(yīng)用場(chǎng)景廣泛,核心覆蓋半導(dǎo)體領(lǐng)域關(guān)鍵設(shè)備與腔體:
●?半導(dǎo)體設(shè)備接口:適配化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、刻蝕(Etch)、外延生長(zhǎng)(Epi)等核心半導(dǎo)體工藝設(shè)備;
●?各類真空室:可用于裝載鎖、傳輸腔、冷卻腔、工藝腔體等真空環(huán)境的通風(fēng)需求,尤其適合短時(shí)間內(nèi)需傳遞大量氣體流的工況,能從容應(yīng)對(duì)高流量氣體傳輸場(chǎng)景。
產(chǎn)品特點(diǎn)
●?優(yōu)化氣流穩(wěn)定性:有效減少工藝腔體排氣過程中產(chǎn)生的湍流,避免氣流紊亂對(duì)工藝精度與產(chǎn)品質(zhì)量造成影響,保障腔體內(nèi)部環(huán)境穩(wěn)定;
●?兼容性廣泛:適用于多種類型的工藝氣體,無需針對(duì)不同氣體頻繁更換過濾器,降低設(shè)備維護(hù)成本與操作復(fù)雜度;
●?高潔凈標(biāo)準(zhǔn):全程在潔凈室環(huán)境中完成制造、測(cè)試與包裝流程,從生產(chǎn)源頭控制污染物,確保過濾器本身無雜質(zhì)引入,滿足高潔凈度工藝要求;
●?品質(zhì)絕對(duì)保障:每臺(tái)過濾器均經(jīng)過 100% 完整性測(cè)試,只有完全符合性能標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品才可出廠,杜絕不合格產(chǎn)品流入市場(chǎng),為用戶提供可靠的品質(zhì)承諾。


恒歌KF16KF25KF40真空支架采用iso標(biāo)準(zhǔn),多種型號(hào)和尺寸可選。使用 ISO 組件有幾個(gè)優(yōu)點(diǎn)。由于組件尺寸是標(biāo)準(zhǔn)化的,因此給定尺寸的彎頭、三通、四通或閥門可以互換。

