SF系列IGS面板專用過濾器、用于半導體行業集成氣體輸送與控制系統、兼容C型和W型多種密封規格、實現0.003μm級高效顆粒過濾、保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量、適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造、堅固耐用、緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的表面安裝元件、便于系統集成與模塊化設計升級、安裝維護便捷高效。

產品特點

? 整體316L不銹鋼結構

? 小型化設計、結構緊湊、不占用空間優異的氣體置換和解吸特性

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

? 電解拋光316L不銹鋼外殼

? 安裝與檢修便捷高效

? 采用機械密封、結構上與介質無焊接