優異的化學兼容性、適用多種工藝氣體

結合過濾器的顆粒攔截，減少工藝腔體排氣時的湍流
專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。
結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，過濾精度達3nm。
獨特的濾材結構設計，在保證過濾效率的同時，也避免引起湍流，對工藝室環境造成影響，防止吹起顆粒或甚至吹起硅片。

超高純氣體擴散器特點

1.不銹鋼粉末燒結介質，可快速排氣
2.整體316L不繡鋼結構
3.減少工藝腔體排氣時的湍流
4.適用于多種工藝氣體
5.100%6完整性測試通過
6.100%6氦氣泄露檢測道過
7.耐高溫、耐高壓、耐腐蝕。防止敬粒混入，幫助提高產品合格率
8.可根據安裝空同進行設計
9.過濾精度高
10.均勻氣體擴散

應用行業

1、氣體擴散系統:用于精密氣體擴散，如氣體流量控制和均勻分布，廣泛應用
2、于實驗室、半導體制造、化學反應器等
3、化學反應器:在需要控制氣體傳輸速率和均勻性的環境中，確保氣體擴散均勻且無污染
4、高精度氣體供給系統:如高純度氣體傳輸系統
5、半導體制程中真空腔體快速放氣